真空度是指处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用绝对压力值来量化，单位包括帕斯卡（Pa）、毫米汞柱（mmHg）或托（Torr）等。真空度越高，表示气体压力越低，即越接近理想真空状态；反之，真空度越低，气体压力越高，则越接近大气压。 在工业与科研领域，真空度的测量依据压力范围分为粗真空、低真空、高真空和超高真空，常用的测量仪器有热偶真空计、电离真空计和电容薄膜真空计等。真空度直接影响真空镀膜、半导体制造、真空包装等工艺的成败，因此准确理解并控制真空度是相关技术应用的基础。

【常见问题】

问题1：真空度与绝对压力有何关系？

回答1：真空度直接对应绝对压力值，绝对压力越低则真空度越高。例如，标准大气压下真空度为0，而绝对压力为0 Pa时则达到理论上的完全真空。

问题2：如何测量真空度？

回答2：测量真空度需根据压力范围选择仪器，如粗真空可用U型管压力计，低真空常用热偶真空计，高真空和超高真空则依赖电离真空计或冷阴极真空计，所有测量结果均以压力单位标示真空度。

问题3：真空度单位之间如何换算？

回答3：常见真空度单位换算关系为1 Torr ≈ 133.322 Pa，1 mmHg = 1 Torr，1标准大气压 = 101325 Pa = 760 Torr。实际应用中需根据设备说明书或行业标准选择合适单位。

问题4：真空度对真空镀膜质量有何影响？

回答4：真空度越高，镀膜室内残余气体分子越少，可减少杂质掺入和膜层氧化，提高薄膜的均匀性与附着力，因此高端镀膜工艺通常要求真空度在10⁻³ Pa以下。